專案概覽
一個適用於半導體晶圓瑕疵檢測的自動光學檢測 (AOI) 系統，整合同步高精度運動控制與業界標準 SECS/GEM 通訊協定。
功能特色
- 高精度檢測：微米級瑕疵檢測
- 運動控制：同步多軸運動系統
- SECS/GEM 協定：業界標準設備通訊
- 即時處理：快速瑕疵分類與報告
- 配方 (Recipe) 管理：靈活的檢測參數設定
技術堆疊
- 框架：C# WPF (.NET Framework)
- 運動控制：PCI 運動控制卡驅動程式
- 機器視覺：工業相機與影像處理
- 通訊：SECS/GEM (SEMI Equipment Communication Standard)
- 資料庫：SQL Server 用於瑕疵資料庫
關鍵組件
運動控制系統
- 多軸伺服馬達控制
- 精密定位 (<1μm 精度)
- 協調運動規劃
- 緊急停止與安全機制
視覺系統
- 高解析度工業相機
- LED 環形光源控制
- 影像擷取與預處理
- 瑕疵偵測演算法
SECS/GEM 整合
- 設備狀態管理
- 配方 (Recipe) 管理
- 資料收集與報告
- 警報處理
- 遠端控制功能